tlakoměr membránový
tlakoměr deformační využívající deformaci křemíkové membrány, která uzavírá vakuovaný prostor uvnitř mikromechanického senzoru. Používá se v současných elektronických čidlech pro měření tlaku. Opačné strany vakuované mezery jsou pokoveny a tvoří kondenzátor, jehož kapacita závisí na prohnutí membrány. Jedná se o tzv. BAROCAP sensor. Výhodou je přesnost, malá hystereze, nízká teplotní závislost a dlouhodobá stabilita.
angl: membrane anemometer; slov: membránový tlakomer 2014
